封裝的工藝流程是半導(dǎo)體制造中的重要環(huán)節(jié)之一,用于將成品芯片封裝到底部具有金屬引腳或球的塑料外殼中。以下是一般的封裝工藝流程:
1. 硅晶圓準(zhǔn)備:晶圓首先經(jīng)過(guò)切割、玻璃鈍化處理和清洗等步驟。
2. 固定晶片:將芯片粘在底座上,并使用特殊工具進(jìn)行定位。
3. 導(dǎo)線焊接:用線或球連接芯片與引腳,然后將它們粘貼到芯片的側(cè)面。
4. 塑料注射成型:將塑料顆粒加熱并注入到模具中,在高壓下形成帶有引腳或球的塑料外殼。
5. 清洗和測(cè)試:清洗殘留物并進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè),以確保每個(gè)封裝芯片符合規(guī)格要求。
6. 割裂:隨后,外殼將被切斷,并在適當(dāng)?shù)奈恢蒙蠘?biāo)記編號(hào)等信息。
7. 包裝:最后,完成的芯片被放置在耐靜電環(huán)境下的密封包裝中,準(zhǔn)備發(fā)貨。
以上是一般的封裝過(guò)程,在實(shí)際的操作過(guò)程中可能會(huì)因應(yīng)不同的產(chǎn)品需求而有所調(diào)整。
封裝工藝的流程是提供半封裝晶圓,所述半封裝晶圓上具有切割道以及芯片的金屬焊墊;在切割道上形成第一保護(hù)層;在金屬焊墊上形成球下金屬電極;在所述球下金屬電極上形成焊球;沿所述切割道對(duì)晶圓進(jìn)行劃片。
該發(fā)明所述的第一保護(hù)層能夠使得切割道內(nèi)的金屬不被電鍍析出,且在切割后能夠保護(hù)分立芯片的側(cè)面,工藝流程簡(jiǎn)單,提高了封裝效率以及成品率。
1.封裝工藝流程 一般可以分為兩個(gè)部分,用塑料封裝之前的工藝步驟成為前段操作,在成型之后的工藝步驟成為后段操作。
2.芯片封裝技術(shù)的基本工藝流程:硅片減薄 硅片切割 芯片貼裝,芯片互聯(lián) 成型技術(shù) 去飛邊毛刺 切筋成型 上焊錫打碼等工序。
3.硅片的背面減薄技術(shù)主要有磨削,研磨,化學(xué)機(jī)械拋光,干式拋光,電化學(xué)腐蝕,濕法腐蝕,等離子增強(qiáng)化學(xué)腐蝕,常壓等離子腐蝕等。
4.先劃片后減?。涸诒趁婺ハ髦皩⒐杵媲懈畛鲆欢ㄉ疃鹊那锌?,然后再進(jìn)行背面磨削。
5.減薄劃片:在減薄之前,先用機(jī)械或化學(xué)的方式切割處切口,然后用磨削方法減薄到一定厚度之后采用ADPE腐蝕技術(shù)去除掉剩余加工量實(shí)現(xiàn)裸芯片的自動(dòng)分離。
6.芯片貼裝的方式四種:共晶粘貼法,焊接粘貼法,導(dǎo)電膠粘貼法,和玻璃膠粘貼法。
共晶粘貼法:利用金-硅合金(一般是69%Au,31%的Si),363度時(shí)的共晶熔合反應(yīng)使IC芯片粘貼固定。
7.為了獲得較佳的共晶貼裝所采取的方法,IC芯片背面通常先鍍上一層金的薄膜或在基板的芯片承載座上先植入預(yù)芯片
8.芯片互連常見(jiàn)的方法有,打線鍵合,載在自動(dòng)鍵合(TAB)和倒裝芯片鍵合。
9.打線鍵合技術(shù)有,超聲波鍵合,熱壓鍵合,熱超聲波鍵合。
10.TAB的關(guān)鍵技術(shù):1芯片凸點(diǎn)制作技術(shù)2TAB載帶制作技術(shù)3載帶引線與芯片凸點(diǎn)的內(nèi)引線焊接和載帶外引線焊接技術(shù)。
11.凸點(diǎn)芯片的制作工藝,形成凸點(diǎn)的技術(shù):蒸發(fā)/濺射涂點(diǎn)制作法,電鍍凸點(diǎn)制作法置球及模板印刷制作,焊料凸點(diǎn)發(fā),化學(xué)鍍涂點(diǎn)制作法,打球凸點(diǎn)制作法,激光法。
12.塑料封裝的成型技術(shù),1轉(zhuǎn)移成型技術(shù),2噴射成型技術(shù),3預(yù)成型技術(shù)但主要的技術(shù)是轉(zhuǎn)移成型技術(shù),轉(zhuǎn)移技術(shù)使用的材料一般為熱固性聚合物。
13.減薄后的芯片有如下優(yōu)點(diǎn):1、薄的芯片更有利于散熱;2、減小芯片封裝體積;3、提高機(jī)械性能、硅片減薄、其柔韌性越好,受外力沖擊引起的應(yīng)力也越?。?、晶片的厚度越薄,元件之間的連線也越短,元件導(dǎo)通電阻將越低,信號(hào)延遲時(shí)間越短,從而實(shí)現(xiàn)更高的性能;5、減輕劃片加工量減薄以后再切割,可以減小劃片加工量,降低芯片崩片的發(fā)生率。
14. 波峰焊:波峰焊的工藝流程包括上助焊劑、預(yù)熱以及將PCB板在一個(gè)焊料波峰上通過(guò),依靠表面張力和毛細(xì)管現(xiàn)象的共同作用將焊劑帶到PCB板和元器件引腳上,形成焊接點(diǎn)。
波峰焊是將熔融的液態(tài)焊料,借助于泵的作用,在焊料槽液面形成特定形狀的焊料波,裝了元器件的PCB置于傳送鏈上,經(jīng)某一特定的角度以及一定的進(jìn)入深度穿過(guò)焊料波峰而實(shí)現(xiàn)焊點(diǎn)的焊接過(guò)程。
再流焊:是通過(guò)預(yù)先在PCB焊接部位施放適量和適當(dāng)形式的焊料,然后貼放表面組裝元器件,然后通過(guò)重新熔化預(yù)先分配到印制板焊盤上的焊膏,實(shí)現(xiàn)表面組裝元器件焊端或引腳與印制板焊盤之間機(jī)械與電氣連接的一種成組或逐點(diǎn)焊接工藝。
15.打線鍵合(WB):將細(xì)金屬線或金屬帶按順序打在芯片與引腳架或封裝基板的焊墊上形成電路互連。打線鍵合技術(shù)有超聲波鍵合、熱壓鍵合、熱超聲波鍵合。
載帶自動(dòng)鍵合(TAB):將芯片焊區(qū)與電子封裝外殼的I/O或基板上的金屬布線焊區(qū)用具有引線圖形金屬箔絲連接的技術(shù)工藝。
倒裝芯片鍵合(FCB):芯片面朝下,芯片焊區(qū)與基板焊區(qū)直接互連的一種方法。
16. 芯片互連:將芯片焊區(qū)與電子封裝外殼的I/O或基板上的金屬布線焊區(qū)相連接,只有實(shí)現(xiàn)芯片與封裝結(jié)構(gòu)的電路連接才能發(fā)揮已有的功能。